掃描電子顯微鏡的結構電子光學系統
掃描電子顯微鏡主要由電子光學系統、信號收集處理系統、真空系統、圖像處理顯示和記錄系統、樣品室樣品臺、電源系統和計算機控制系統等組成。 電子光學系統 電子光學系統主要是給掃描電鏡提供一定能量可控的并且有足夠強度的，束斑大小可調節的，掃描范圍可根據需要選擇的，形狀完美對稱的，并且穩定的電子束。 電子光學系統主要由電子槍、電磁聚光鏡、光闌、掃描系統、消像散器、物鏡和各類對中線圈組成，如圖3-1。 1. 電子槍（Electron Gun） 電子槍是產生具有確定能量電子束的部件，是由陰極（燈絲）、柵極和陽極組成。燈絲主要有鎢燈絲、LaB6和場發射三類。 ① 鎢燈絲電子槍： 如圖3-2，燈絲是鎢絲，在加熱到2100K左右，電子能克服大約平均4.5eV的逸出功而逃離，鎢燈絲是利用熱效應來發射電子。不過鎢燈絲發射電子效率比較低，要達到實用的電流密度，需要較大的鎢絲發射面積，一般鎢絲電子源直徑為幾十微米。這樣大的電子源直徑很難進一步......閱讀全文
掃描電子顯微鏡的結構－－電子光學系統
掃描電子顯微鏡主要由電子光學系統、信號收集處理系統、真空系統、圖像處理顯示和記錄系統、樣品室樣品臺、電源系統和計算機控制系統等組成。 電子光學系統 電子光學系統主要是給掃描電鏡提供一定能量可控的并且有足夠強度的，束斑大小可調節的，掃描范圍可根據需要選擇的，形狀完美對稱的，并且穩定的電子束。 電
掃描電子顯微鏡的結構(一)－－電子光學系統
掃描電子顯微鏡主要由電子光學系統、信號收集處理系統、真空系統、圖像處理顯示和記錄系統、樣品室樣品臺、電源系統和計算機控制系統等組成。第一節? 電子光學系統電子光學系統主要是給掃描電鏡提供一定能量可控的并且有足夠強度的，束斑大小可調節的，掃描范圍可根據需要選擇的，形狀完美對稱的，并且穩定的電子束。電子
掃描電子顯微鏡基本結構
1-鏡筒;2-樣品室;3-EDS探測器;4-監控器;5-EBSD探測器;6-計算機主機;7-開機/待機/關機按鈕;8-底座;9-WDS探測器。
環境掃描電子顯微鏡的結構
? 環境掃描電子顯微鏡在普通掃描電鏡的基礎上環掃實現較高的低真空，其核心技術就是采用兩級壓差光柵和氣體二次電子探測器，還有一些其它相關技術也相繼得到完善。 環境掃描電子顯微鏡是使用1個分子泵和2個機械泵，2個壓差(壓力限制)光柵將主體分成3個抽氣區，鏡筒處于高真空，樣品周圍為環境狀態，樣品室、光路
掃描電子顯微鏡的主要結構
掃描電子顯微鏡的主要結構1.電子光學系統：電子槍；聚光鏡（*、第二聚光鏡和物鏡）；物鏡光闌。2.掃描系統：掃描信號發生器；掃描放大控制器；掃描偏轉線圈。3.信號探測放大系統：探測二次電子、背散射電子等電子信號。4.圖象顯示和記錄系統：早期SEM采用顯象管、照相機等。數字式SEM采用電腦系統進行圖象顯
掃描電子顯微鏡的原理結構
掃描電子顯微鏡具有由三極電子槍發出的電子束經柵極靜電聚焦后成為直徑為50mm的電光源。在2-30KV的加速電壓下，經過2-3個電磁透鏡所組成的電子光學系統，電子束會聚成孔徑角較小，束斑為5-10m m的電子束，并在試樣表面聚焦。 末級透鏡上邊裝有掃描線圈，在它的作用下，電子束在試樣表面掃描。高能電子
掃描電子顯微鏡的原理結構
掃描電子顯微鏡具有由三極電子槍發出的電子束經柵極靜電聚焦后成為直徑為50mm的電光源。在2-30KV的加速電壓下，經過2-3個電磁透鏡所組成的電子光學系統，電子束會聚成孔徑角較小，束斑為5-10m m的電子束，并在試樣表面聚焦。 末級透鏡上邊裝有掃描線圈，在它的作用下，電子束在試樣表面掃描。高能電子
掃描電子顯微鏡的結構原理
掃描電子顯微鏡電子槍發射出的電子束經過聚焦后匯聚成點光源；點光源在加速電壓下形成高能電子束；高能電子束經由兩個電磁透鏡被聚焦成直徑微小的光點，在透過最后一級帶有掃描線圈的電磁透鏡后，電子束以光柵狀掃描的方式逐點轟擊到樣品表面，同時激發出不同深度的電子信號。此時，電子信號會被樣品上方不同信號接收器的探
掃描電子顯微鏡的原理結構
?? 掃描電鏡（SEM）是介于透射電鏡和光學顯微鏡之間的一種微觀形貌觀察手段，可直接利用樣品表面材料的物質性能進行微觀成像。? ? 掃描電子顯微鏡具有由三極電子槍發出的電子束經柵極靜電聚焦后成為直徑為50mm的電光源。在2-30KV的加速電壓下，經過2-3個電磁透鏡所組成的電子光學系統，電子束會聚成
掃描電子顯微鏡的基本結構
基本結構結構示意圖1-鏡筒；2-樣品室；3-EDS探測器；4-監控器；5-EBSD探測器；6-計算機主機；7-開機/待機/關機按鈕；8-底座；9-WDS探測器。
掃描電子顯微鏡的基本結構
基本結構結構示意圖?1-鏡筒；2-樣品室；3-EDS探測器；4-監控器；5-EBSD探測器；6-計算機主機；7-開機/待機/關機按鈕；8-底座；9-WDS探測器。
掃描電子顯微鏡的原理結構
掃描電子顯微鏡具有由三極電子槍發出的電子束經柵極靜電聚焦后成為直徑為50mm的電光源。在2-30KV的加速電壓下，經過2-3個電磁透鏡所組成的電子光學系統，電子束會聚成孔徑角較小，束斑為5-10m m的電子束，并在試樣表面聚焦。 末級透鏡上邊裝有掃描線圈，在它的作用下，電子束在試樣表面掃描。高能電子
掃描電子顯微鏡的組成結構
電子槍電子槍用來提供高能電子束，可以說是整臺電鏡最重要的部件之一。電子槍的質量決定著掃描電鏡成像的質量。目前常用的電子槍包括：鎢陰極、氧化釔陰極、硼化物（LaB6、CeB6等）陰極等鎢陰極：是掃描電鏡最常用的發射陰極。采用直徑0.2mm左右的鎢絲，彎曲成發夾型或“V”字型。當電流流過鎢陰極時，鎢燈絲
場發射掃描電子顯微鏡的操作檢查光學系統
電子光學系統是由電子槍、電磁透鏡、掃描線圈組成的，也是掃描電子顯微鏡的核心部分。為保證電子束沿這些部件的軸線穿行，必須調節這些部件合軸，即光闌對中。而電鏡初學者往往一味地進行調焦、變倍操作，可是得到的圖像仍不清楚，于是懷疑電鏡出現故障。下面將就從光闌對中、物鏡消像散、查看電子束束流和燈絲壽命情況這幾
掃描電子顯微鏡的結構圖
1-鏡筒；2-樣品室；3-EDS探測器；4-監控器；5-EBSD探測器；6-計算機主機；7-開機/待機/關機按鈕；8-底座；9-WDS探測器。
掃描電子顯微鏡的原理及結構
掃描電子顯微鏡，全稱為掃描電子顯微鏡，英文為scanning electron microscope（SEM ），是一種用于觀察物體表面結構的電子光學儀器。 1、掃描電子顯微鏡的原理 掃描電子顯微鏡的制造是依據電子與物質的相互作用。當一束高能的人射電子轟擊物質表面時，被激發的區域將產生二次電子、
掃描電子顯微鏡的結構和應用
掃描電子顯微鏡（scanning electron microscope，SEM）是一種用于高分辨率微區形貌分析的大型精密儀器。具有景深大、分辨率高，成像直觀、立體感強、放大倍數范圍寬以及待測樣品可在三維空間內進行旋轉和傾斜等特點。另外具有可測樣品種類豐富，幾乎不損傷和污染原始樣品以及可同時獲得形貌
淺談掃描電子顯微鏡的特點與結構
掃描電鏡是用聚焦電子束在試樣表面逐點掃描成像。試樣為塊狀或粉末顆粒，成像信號可以是二次電子、背散射電子或吸收電子。其中二次電子是zui主要的成像信號。由電子槍發射的能量為5～35keV?的電子，以其交叉斑作為電子源，經二級聚光鏡及物鏡的縮小形成具有一定能量、一定束流強度和束斑直徑的微細電子束，在掃描
淺談掃描電子顯微鏡的特點與結構
掃描電鏡是用聚焦電子束在試樣表面逐點掃描成像。試樣為塊狀或粉末顆粒，成像信號可以是二次電子、背散射電子或吸收電子。其中二次電子是zui主要的成像信號。由電子槍發射的能量為5～35keV?的電子，以其交叉斑作為電子源，經二級聚光鏡及物鏡的縮小形成具有一定能量、一定束流強度和束斑直徑的微細電子束，在掃描
掃描電子顯微鏡的結構原理圖
掃描電子顯微鏡電子槍發射出的電子束經過聚焦后匯聚成點光源；點光源在加速電壓下形成高能電子束；高能電子束經由兩個電磁透鏡被聚焦成直徑微小的光點，在透過最后一級帶有掃描線圈的電磁透鏡后，電子束以光柵狀掃描的方式逐點轟擊到樣品表面，同時激發出不同深度的電子信號。此時，電子信號會被樣品上方不同信號接收器的探
關于臺式掃描電子顯微鏡的原理結構
臺式掃描電子顯微鏡具有由三極電子槍發出的電子束經柵極靜電聚焦后成為直徑為50mm的電光源。 在2-30KV的加速電壓下，經過2-3個電磁透鏡所組成的電子光學系統，電子束會聚成孔徑角較小，束斑為5-10 nm的電子束，并在試樣表面聚焦。 末級透鏡上邊裝有掃描線圈，在它的作用下，電
掃描透射電子顯微鏡的結構功能
掃描透射電子顯微鏡是指透射電子顯微鏡中有掃描附件者，尤其是指采用場發射電子槍作成的掃描透射電子顯微鏡。掃描透射電子顯微分析是綜合了掃描和普通透射電子分析的原理和特點而出現的一種新型分析方式。掃描透射電子顯微鏡是透射電子顯微鏡的一種發展。掃描線圈迫使電子探針在薄膜試樣上掃描，與掃描電子顯微鏡不同之處在
掃描電子顯微鏡SEM的結構及原理
掃描電鏡主要由電子光學系統，顯示系統，真空及電源系統組成。一、電子光學系統包括電子槍，聚光鏡（*、第二聚光鏡和物鏡），物鏡光闌和掃描系統。其作用是產生直徑為幾十埃的掃描電子束，即電子探針，使其在樣品表面作光柵狀掃描電子槍與透射電鏡的電子槍基本相同，只是加速電壓較低，一般在40kV以下。磁透鏡有*、二
掃描電子顯微鏡的結構和功能特點
掃描電子顯微鏡（SEM）是一種介于透射電子顯微鏡和光學顯微鏡之間的一種觀察手段。其利用聚焦的很窄的高能電子束來掃描樣品，通過光束與物質間的相互作用，來激發各種物理信息，對這些信息收集、放大、再成像以達到對物質微觀形貌表征的目的。新式的掃描電子顯微鏡的分辨率可以達到1nm；放大倍數可以達到30萬倍及以
掃描電子顯微鏡SEM的結構及原理
一、電子光學系統包括電子槍，聚光鏡（*、第二聚光鏡和物鏡），物鏡光闌和掃描系統。其作用是產生直徑為幾十埃的掃描電子束，即電子探針，使其在樣品表面作光柵狀掃描電子槍與透射電鏡的電子槍基本相同，只是加速電壓較低，一般在40kV以下。磁透鏡有*、二聚光鏡和物鏡，其作用與透射電鏡的聚光鏡相同：縮小電子束的直
掃描電子顯微鏡的工作原理及主要結構
一、掃描電子顯微鏡SEM工作原理掃描電子顯微鏡SEM是用聚焦電子束在試樣表面逐點掃描成像。試樣為塊狀或粉末顆粒，成像信號可以是二次電子、背散射電子或吸收電子。其中二次電子是最主要的成像信號。由電子槍發射的能量為5-35KeV的電子，以其交叉斑作為電子源，經二級聚光鏡及物鏡的縮小形成具有一定能量、一定
掃描電子顯微鏡的結構－－探測器系統
掃描電鏡除了需要高質量的電子束，還需要高質量的探測器。上一章中已經詳細講述了各種信號和襯度的關系，所以電鏡需要各種信號收集和處理系統，用于區分和采集二次電子和背散射電子，并將SE、BSE產額信號進行放大和調制，轉變為直觀的圖像。不同廠商以及不同型號的電鏡在收集SE、BSE的探測器上都有各自獨特的技術
掃描電子顯微鏡
掃描電子顯微鏡的電子束不穿過樣品，僅以電子束盡量聚焦在樣本的一小塊地方，然后一行一行地掃描樣本。入射的電子導致樣本表面被激發出次級電子。顯微鏡觀察的是這些每個點散射出來的電子，放在樣品旁的閃爍晶體接收這些次級電子，通過放大后調制顯像管的電子束強度，從而改變顯像管熒光屏上的亮度。圖像為立體形象，反映了
掃描電子顯微鏡的掃描原理介紹
在掃描電鏡中, 入射電子束在樣品上的掃描和顯像管中電子束在熒光屏上的掃描是用一個共同的掃描發生器控制的。這樣就保證了入射電子束的掃描和顯像管中電子束的掃描完全同步, 保證了樣品上的“物點”與熒光屏上的“象點”在時間和空間上一一對應, 稱其為“同步掃描”。一般掃描圖象是由近100萬個與物點一一對應
掃描電子顯微鏡工作原理及主要結構（二）
一.圖像顯示和記錄系統高能電子束與樣品相互作用產生各種信息，如圖24-3所示，在掃描電鏡中采用不同的探測器接收這些信號。圖24-3??? 高能電子束與樣品作用產生信號電子示意圖二次電子的探測系統如圖24-4所示，它包括靜電聚焦電極(收集極或柵極)、閃爍體探頭、光導管、光電倍增管和前置放大器。二次電子