zhangbin07(站內聯系TA)多看看書吧dwysd(站內聯系TA)在XPS手冊上，對應于每種元素，都有一個峰位與該元素化學鍵結構的圖表，根據這個圖標，把你測得的數據進行處理，例如你做的氮化硅，但是里面有少量的氧化硅，那么你的Si2p峰位就既不是標準的氮化硅，也不是標準的氧化硅，這是需要你利用origin或者xpspeakfit等軟件對所得的Si2p峰進行分峰，也就是用2個或者3個或者更多的高斯峰來擬合所得的測試曲線，根據每一個高斯峰的面積，來去定Si元素中有多少與O結合形成Si-O鍵，有多少與N結合形成Si-N鍵。swxby(站內聯系TA)你去文獻搜索引擎看看別人的分析，學習方法和步驟記好了。