在XRD衍射譜圖中，衍射峰對應的晶面可以通過物相匹配、晶格常數、晶面指數標記等步驟來識別。要準確識別一個XRD圖譜中各個衍射峰所對應的晶面，需要綜合運用多種分析方法和工具。衍射峰一般用角度值表示，該值和微觀上晶體的晶面間距是對應的，一個晶面間距對應一個特定的角度。當測試多晶，陶瓷時，因為存在晶格異常，偏大或偏小，會使衍射峰變寬。材料結晶越好，峰越窄，反之越寬。
物相匹配：通過衍射峰的位置與標準物質的粉末衍射文件（PDF）卡片進行比對，可以確定樣品中存在的物相。這一步驟是識別晶面的基礎。
晶格常數：了解樣品的晶格常數有助于進一步確認衍射峰對應的晶面。晶格常數是晶體結構的基本參數，對于特定的晶面（hkl），其衍射角θ可以通過布拉格定律計算得出。
晶面指數標記：在Origin等數據處理軟件中，可以通過導入標準PDF卡片數據，將軟件計算得到的衍射峰與相應的晶面指數（hkl）匹配起來，從而直接在XRD圖譜上標記出每個衍射峰對應的晶面指數。