X射線熒光光譜儀簡稱：XRF，適用于簡單的元素識別和定量以及更加復雜的分析，X射線熒光光譜分析是確定物質中微量元素的種類和含量的一種方法。
熒光，顧名思義就是在光的照射下發出的光，它是利用一定波長的X射線照射材料，元素處于激發狀態，從而激發出光子，形成一種熒光射線，由于不同元素的激發態的能量大小不一樣，所以產生的熒光X射線不同，進而根據熒光X射線的波長和強度，得出元素的種類和含量
