作為一種比較分析技術，在一定的條件下，利用初級X射線光子或其他微觀粒子激發待測物質中的原子，使之產生熒光（次級X射線）而進行物質成分分析的儀器。
按激發、色散和探測方法的不同，分為：
X射線光譜法（波長色散）
X射線能譜法（能量色散）
