TEM真空系統

真空系統　

電鏡的真空系統由機械泵、油擴散泵、真空管道、閥門及檢測系統組成。

在電子顯微鏡中，電子由電子槍發出經過樣品，打到熒光屏上。電子束的穿透力很弱，只有在高真空的情況下才能達到一定的行程。整個路程中，應該沒有空氣分子的碰撞，這就要求必須將電子束通道、既鏡筒抽成高真空。鏡筒高真空的好壞，直接影響到電鏡能否正常工作。如果真空不好，還會使燈絲壽命縮短，電子槍也會放電引起高壓不穩，樣品也容易污染。因此電鏡工作時，鏡筒的真空度要求在10－4～10－6托，一般 的抽真空系統包括兩至三只機械泵和一只油擴散泵。獲得高真空分兩步：第一步由機械泵抽低真空，從大氣抽到1.33—0.133pa（0.01-0.001mmHg）的真空度；第二步由油擴散泵抽高真空，從低真空抽到13.33×10-4 ～10-5Pa(10-5 ～10-6mmHg) 的真空度。若是場發射型的電鏡，則要利用離子泵或分子泵進行抽真空。