AFM的電學性能測試

靜電力EFM是從輕敲模式AFM發展而來的細分成像模式，可以對樣品表面的電場分布進行掃描。它采用兩次掃描的方法，第一次掃描（主掃描， Main Scan）采用輕敲模式獲得表面形貌，第二次掃描（Interleave掃描，Interleave Scan）將探針抬起一定高度，并給探針施加一個偏壓，利用第一次掃描得到的形貌信息保持探針和樣品之間的距離恒定，對電場分布進行掃描。這種兩次掃描的方法稱為抬起模式（Lift Mode）
     EFM掃描過程中，如果振動的探針受到引力作用，懸臂有效彈性系數降低，振動頻率減小；受到斥力作用，懸臂有效彈性系數增加，振動頻率會增加。這種變化會引起振幅-頻率曲線的移動。同時變化的還有振動的振幅和相位，這就有了相位檢測、頻率調制以及振幅調制三種靜電力檢測方法。如果通過調節懸臂振動頻率來維持振幅的恒定，測量頻率信號，即為頻率調制（Frequency Modulation，FM）；如果固定頻率測量振幅變化，即為振幅調制（Amplitude Modulation，AM）；如果測定相位變化，即為相位檢測（Phase Detection）。在振幅調制的過程中，因為探針要克服表面粘附力的作用，會存在能量損失，因此振幅調制的靈敏度要低于相位檢測和頻率調制。
通常EFM只用于定性和半定量的研究。目前有很多發表的工作：
一類工作是利用SPM進行表面物質的鑒識，如區分不同自組裝方法形成的納米結構。再有一類工作是利用SPM方法來跟蹤在外界影響下表面電學性質的變化，如Cherniavskaya等利用EFM研究了光激發對在不同基底上CdSe/CdS核殼結構納米晶性質的影響，不同的氣體吸附和表面修飾對碳納米管/金電極接觸性質的影響。還有一類工作是利用SPM直接測量樣品表面上的某一與電學性質相關的物理量，如研究基于有機共軛體系的薄膜晶體管的電學性質，測量不同層數石墨烯的表面電勢。除此以外，還被用于順電-鐵電相變、電荷注入、分析表面污染物等等領域。