薄膜參考板

薄膜參考板

當我們測量很薄的硅晶圓或光學板層時可以使用我們的硅-二氧化硅參考晶圓。
硅-二氧化硅階梯形晶圓的表面直徑是100mm，有5種不同厚度的校正鍍層分布在上面從0-500nm，用于測量膜厚和不同基底的透射層是理想的參比標準。

步進板由很薄的二氧化硅片鍍在硅片上所構成。校正數據—硅板經過橢偏儀校正—包含每一個鍍層的信息如X點，Y點ψ, δ, 周期 (in mm) 及膜厚(in mm)。