能譜分析

主要包括X射線光電子能譜XPS和俄歇電子能譜法AES

（1）X射線光電子能譜(X-ray Photoelectron Spectroscopy, XPS)

X射線光電子能譜(XPS )就是用X射線照射樣品表面，使其原子或分子的電子受激而發射出來，測量這些光電子的能量分布，從而獲得所需的信息。隨著微電子技術的發展，XPS也在不斷完善，目前，已開發出的小面積X射線光電子能譜，大大提高了XPS的空間分辨能力。通過對樣品進行全掃描，在一次測定中即可檢測出全部或大部分元素。因此，XPS已發展成為具有表面元素分析、化學態和能帶結構分析以及微區化學態成像分析等功能強大的表面分析儀器。X射線光電子能譜的理論依據就是愛因斯坦的光電子發散公式。XPS作為研究材料表面和界面電子及原子結構的最重要手段之一，原則上可以測定元素周期表上除氫、氦以外的所有元素。其主要功能及應用有三方面:第一，可提供物質表面幾個原子層的元素定性、定量信息和化學狀態信息；第二，可對非均相覆蓋層進行深度分布分析，了解元素隨深度分布的情況；第三，可對元素及其化學態進行成像，給出不同化學態的不同元素在表面的分布圖像等。

（2）俄歇電子能譜法（Auger electron spectroscopy，AES）

俄歇電子能譜法是用具有一定能量的電子束(或X射線)激發樣品俄歇效應，通過檢測俄歇電子的能量和強度，從而獲得有關材料表面化學成分和結構的信息的方法。 利用受激原子俄歇躍遷退激過程發射的俄歇電子對試樣微區的表面成分進行的定性定量分析。

俄歇能譜儀與低能電子衍射儀聯用，可進行試樣表面成分和晶體結構分析，因此被稱為表面探針。

電鏡-能譜分析方法：利用電鏡的電子束與固體微區作用產生的X射線進行能譜分析（EDAX）；與電子顯微鏡結合（SEM，TEM），可進行微區成份分析；可進行定性和定量分析。