電子探針X射線顯微分析儀，簡稱電子探針。是指以聚焦的高速電子來激發出試樣表面組成元素的特征X射線，并根據X射線的波長和強度，對微區成分進行定性或定量分析的一種材料物理儀器。電子探針分析的原理是以電子束轟擊試樣表面，擊出表面組成元素的原子內層電子，使原子電離，此時外層電子迅速填補空位而釋放能量，從而產生特征X射線。不同的元素有不同的X射線特征波長和能量。通過鑒別其特征波長或特征能量就可以確定所分析的元素。電子探針有三種基本工作方式：一是點分析，用于選定點的全譜定性分析或定量分析；二是線分析，用于顯示元素沿選定直線方向上的濃度變化；三是面分析，用于觀察元素在選定微區內濃度分布。