激光干涉儀,關鍵字是激光和干涉。
干涉(interference)是兩列或兩列以上的波在空間中重疊時發生疊加從而形成新的波形的現象。對光源有一定的要求,而激光的三個特性能夠較好的發生干涉。
所以就出現了用激光干涉實現某種應用的儀器。
一般性應用都是測面型,距離,速度等。
因為兩束滿足特定要求的激光能夠產生干涉條紋,而兩束光的相差導致干涉條紋的能量分布發生變化。通過采集干涉條紋的能量,反計算相差從而計算出被測物的局部面型變化,或者位置變化。
具體分類可分單頻和雙頻激光干涉儀。常見的光路基本結構有傅里葉,法波等,基本上就是雙光束干涉或者多光束干涉原理。
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