（1）無機材料
溶劑清洗或長時間抽真空，以除去試樣表面的污染物。如對陶瓷或金屬樣，用乙醇或丙酮擦洗，然后用蒸餾水洗掉溶劑，吹干或烘干。
用氬離子刻蝕法除去表面污染物。
擦磨、刮剝和研磨。表層與內表面的成分相同的固體樣品，用SiC紙擦磨或用刀片刮剝；粉末樣品采用研磨的辦法使之裸露出新的表面層。
真空加熱法。對于能耐高溫的樣品可采用在高真空度下加熱的辦法除去樣品表面的吸附物。
（2）有機和高聚物樣品
壓片法：軟散的樣品采用壓片的方法。
溶解法：樣品溶解于易揮發的有機溶劑中，然后將1～2滴溶液滴在鍍金的樣品托上，晾干或用吹風機吹干。
研壓法：對不溶于易揮發有機溶劑的樣品，可將少量樣品研磨在金箔上，使其形成薄層。