掃描電鏡的特點

掃描電鏡的特點?

1. 能夠直接觀察樣品表面的微觀結構，樣品制備過程簡單，對樣品的形狀沒有任何????限制，粗糙表面也可以直接觀察；?

2. 樣品在樣品室中可動的自由度非常大，可以作三度空間的平移和旋轉，這對觀察 不規則形狀樣品的各個區域細節帶來了方便；?

3. 圖象富有立體感。掃描電鏡的景深是光學顯微鏡的數百倍，是透射電鏡的數十倍， 故所得到的圖象立體感比較強；

4. 放大倍數范圍大，從幾倍到幾十萬倍連續可調。分辨率也比較高，介于光學顯微 鏡和透射電鏡之間；

5. 電子束對樣品的損傷與污染程度小。由于掃描電鏡電子束束流小，且不是固定一 點照射樣品表面，而是以光柵掃描方式照射樣品，所以對樣品的損傷與污染程度比較小；?

6. 在觀察樣品微觀形貌的同時，還可以利用從樣品發出的其它物理信號作相應的分 析，如微區成分分析。如果在樣品室內安裝加熱、冷卻、彎曲、拉伸等附件，則可以觀察相變、斷裂等動態的變化過程。