掃描電鏡,是觀察樣品表面的結構特征;
透射電鏡,是觀察樣品的內部精細結構。
掃描電鏡主要觀察表面形貌(二次電子像),還可以得到反映成份信息的背散射電子像。掃描電鏡還可以接一些附件,如EDS進行元素成份分析;EBDS進行晶體結構分析等等。
透射電子顯微鏡分辨率比掃描電鏡高(如掃描電鏡最高1nm,透射電鏡0.2nm甚至更高),主要可以進行內部形貌觀察,晶體結構分析,特別是微區(微米、納米)的像觀察和結構分析,可以得到原子尺度的像。如配備一定附件,如EDS進行微區元素成份分析,STEM可以得到更容易解釋的像,EELS可以進行化學狀態分析等等 。
通俗的說
掃描電鏡是相當與對物體的照相,得到的是表面的"只是表面的立體三維的圖象",因為掃描的原理是“感知”那些物提被電子束攻擊后發出的此級電子;
而透射電鏡就相當于普通顯微鏡,只是用波長更短的電子束替代了會發生衍射的可見光,從而實現了顯微,是二維的圖象,會看到表面的圖象的同時也看到內層物質,就像我們拍的X光片似的,內臟骨骼什么的都重疊著顯現出來。
總的來說就是透射能看見內部,掃描是不能看見內部,只局限與表面。
另外,從樣品制備和觀察操作來講,SEM較易。但TEM比SEM可以看到更為精細的結構!
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