| 儀器名稱： | 快速退火爐 |
| 儀器編號： | 04011389 |
| 產地： | 中國 |
| 生產廠家： | 北京東之星應用物理所 |
| 型號： | RTP400 |
| 出廠日期： | 200410 |
| 購置日期： | 200411 |
| 所屬單位： | 集成電路學院>微納加工平臺>薄膜工藝 |
| 放置地點： | 微電子所新所一層微納平臺 |
| 固定電話： | |
| 固定手機： | |
| 固定email： | |
| 聯系人： | 曹秉軍（010-62784044,13910803625,caobj@mail.tsinghua.edu.cn） 竇維治（010-62781090,13366273985,douwz@tsinghua.edu.cn） |
| 分類標簽： | 微納加工 集成電路 半導體 快速熱退火 |
| 技術指標： | 快速退火，工藝溫度400～1000℃。 |
| 知名用戶： | 吳華強 微電子所；許軍 微電子所；陳煒 微電子所；錢鶴 微電子所；劉澤文 微電子所；岳瑞峰 微電子所； 王喆垚 微電子所；蔡堅 微電子所；鄧寧 微電子所；伍曉明 微電子所 |
| 技術團隊： | 曹秉軍 張忠會 竇維治 |
| 功能特色： | 本設備用于半導體材料的退火，具有雜質再分布小，退火速度快，均勻性好，生產率高等優點。該設備也可以用于歐姆接觸及硅化物形成、受控擴散等方面 。 |
| 項目名稱 | 計價單位 | 費用類別 | 價格 | 備注 |
|---|---|---|---|---|
| 快速退火機時費 | 元/小時 | 自主上機機時費 | 300.0 | |
| 快速退火送樣測試費 | 元/小時 | 測試費 | 300.0 |