微波振蕩器是微波信號發生器的核心部件，作為本地振蕩器，也是矢量網絡分析儀、頻譜分析儀和測試接收機的核心部件，對儀器整機性能指標有很大影響。目前，常用的產生微波振蕩的有兩大類，即電真空器件與固體器件。電真空器件主要包括微波電真空三極管、反射速調管、磁控管和返波管等；固體器件有晶體三極管、體效應二極管（也稱耿氏二極管）和雪崩二極管等。
