1.每日維護
（1）每次開機前應檢查循環水水位、水溫、水壓和氬氣瓶壓力、輸出壓力，確保滿足分析要求。
（2）每次點火前應確保炬室門鎖緊桿完全到位、所有管路連接處緊密不漏氣，以免出現點火問題或較差分析結果。
（3）每次熄滅火前應吸噴去離子水5min～10min，清洗霧化室、管道及炬管內殘留的溶液，保持霧化室、管道及炬管的清潔。若分析有機試樣，必須將霧化室拆下來清洗并晾干。
（4）每次分析完畢應將蠕動泵管從蠕動泵上放松，并將蠕動泵壓臂松開，以延長蠕動泵管的使用壽命。若泵管已失效，應及時更換。
（5）每次使用完儀器應做好儀器的衛生保潔工作。
2.每周維護
（1）炬管、炬管隔離帽和專用豬嘴清洗：清洗炬管、炬管隔離帽可直接用清水洗去上面的鹽份；若有其它沉積物可將其浸入王水中一晚上后用清水沖洗干凈；若還有王水清洗不掉的污物可用2%的氫氟酸清洗，每隔五分鐘須檢查一次，直至污物被清洗干凈，然后用清水沖洗（但反復使用氫氟酸清洗炬管、炬管隔離帽，最終會導致其破裂，應盡量少用）。用清水清洗完后都應晾干方可使用。專用豬嘴上的污物可用稀洗滌劑溶液（如TritonX-100）清洗，后用去離子水沖洗干凈，晾干使用。
（2）重新安裝炬管，應做炬管準直。
（3）檢查廢液瓶，所盛廢液超過一半應清空。
（4）做好儀器及相關設備、環境的衛生保潔工作。
3.每月維護
（1）霧化室清洗：可使用稀洗滌劑溶液（如TritonX-100）于超聲波清洗池中清洗。若運行有機溶液，應用乙醇沖洗，再用水沖洗。霧化室內表面有一層涂層，不要接觸該表面，保證廢液能均勻排出。
（2）檢查循環水機水位，必要時應補充。
（3）檢查液氬瓶壓力，及時更換液氬。
（4）冷風入口過濾器清洗：可用吸塵器將其上灰塵清除干凈；若有油污可用中性洗滌劑清洗，然后晾干使用。
（5）檢查檢測器吹掃干燥劑過濾器，當內部干燥劑有1/4變為粉色時應更換或將其烘干。
（6）波長校正每月一次，若軟件重新安裝也需進行。
4.半年維護
水過濾器清洗：可用中性清洗劑清洗其過濾器芯，然后用水沖洗干凈；同時檢查循環水機內水的潔凈度和水位，必要時應更換或補充。
5.每年維護
檢測器吹掃0.1um微粒過濾器每12個月應更換一次，用于除去氣體中的微粒。
6.其它
（1）多色器吹掃分子篩過濾器使用壽命為1200～1500小時，超過時應及時更換。
（2）檢測器吹掃活性炭過濾器使用壽命為1500～1750小時，超過時應及時更換。