吉林大學采購真空轉移原子力顯微鏡與掃描電鏡聯用系統

　　分析測試百科網訊 近日，真空轉移原子力顯微鏡與掃描電鏡聯用系統（項目編號：JLU-ZC19131）進行公開招標， 配備如下功能模式：接觸式原子力顯微鏡（AFM）；輕敲式原子力顯微鏡(DFM)； 開爾文力顯微鏡(KFM)；壓電響應顯微鏡（PRM）等；預算金額：444.6萬。詳情如下：

　　項目聯系人：林老師 電話：0431-85167310

　　開標時間：2019年11月21日 08:30

　　開標地點：吉林省長春市前衛路10號吉林大學前衛校區商貿樓（北門外）四樓（致遠街與前衛路交匯，315路公交調度站旁）吉林大學招標與采購管理中心會議室

　　1.采購項目的名稱、數量、簡要規格描述或項目基本概況介紹：

原子力顯微鏡配置功能要求：4英寸馬達臺的全自動型原子力顯微鏡，可自動安裝、更換探針，自動激光調整，并可實現測量參數自動優化。通過SEM-AFM共享坐標樣品臺，輕松實現掃描電鏡和原子力顯微鏡同視野觀察和分析。原子力顯微鏡與掃描電鏡所獲得的數據能夠很好的匹配、關聯，不僅能夠獲得樣品同一位置的表面信息、成分數據，還能獲得同一位置的3D形貌信息及物理性質分布數據，能夠更全面的了解目標樣品，獲得更加綜合的實驗數據。

　　2.主要配置和技術指標

　　2.1 原子力顯微鏡 1套

　　2.1.1 配備如下功能模式：接觸式原子力顯微鏡（AFM）；輕敲式原子力顯微鏡(DFM)； 開爾文力顯微鏡(KFM)；壓電響應顯微鏡（PRM）等；

　　2.1.2 具備自動測量參數設定功能：可一鍵智能完成全部測量功能，包括探針識別，探針安裝，光軸調整，探針共振頻率測量，探針樣品接近，自動最優參數設定，掃描圖像，圖像后處理等步驟；

　　2.1.3 可實現雙通道最高4096×4096高像素采集，四通道最高2048×2048高像素采集；

　　2.1.4 具備圖形疊加功能：實現形貌圖像和物理性能圖像的疊加，并可控制兩種圖像在疊加圖像中所占的比例；

　　2.1.5 自動菜單測量功能：在設定掃描參數的前提下，設備可自動執行多達100個圖像的掃描，并可分別保存；

　　2.1.6 可通過預掃描功能自動設定最優化的掃描器Z range；

　　2.1.7 具有用戶導航軟件，可按操作步驟實時指導操作者從探針安裝，樣品放置，激光調節，參數設定、掃描控制到圖形處理、圖形分析；

　　2.1.8 有長方形掃描功能；

　　2.1.9 可在掃描圖像的同時監視掃描剖面曲線，最多可同時監視四通道曲線；

　　2.1.10 圖像緩存功能，可在緩存里存儲所有測量或數據處理過程獲得的圖像，即使臨時斷電也不會使圖像丟失；

　　2.1.11 掃描過程中可實時更換測量中心點或是放大某個局部；

　　2.1.12 圖形處理軟件具備tilt, flat, mask, FFT, Local filter等功能；

　　2.1.13 圖形分析功能包括剖面曲線分析，粗糙度，長度，高度測量等功能；

　　2.1.14 WINDOWS 10操作系統；

　　2.1.15 掃描器：平板閉環掃描器 掃描范圍XY：≥200μm，Z：≥15μm；

　　2.1.16 噪音水平：RMS≤0.04nm

　　2.1.17 樣品臺：全自動馬達樣品臺，樣品最大尺寸：直徑≥100mm且高≥20mm，樣品最大重量≥2kg；

　　2.1.18 樣品移動：XY方向，自動馬達控制，移動范圍≥±50mm，Z方向，自動，移動范圍≥20mm；

　　2.1.19 內置光學顯微鏡：軟件控制變倍和變焦；

　　2.1.20 減震系統：主動式防震臺；

　　2.1.21 大型落地式隔音罩，具備多層結構的吸音材料；

　　2.1.22 探針：接觸模式探針（30根）；輕敲模式探針（30根），KFM用探針（10支）；

　　2.1.23 設備可與掃描電子顯微鏡同視場定位, 可實現SEM-SPM同位置觀察。

　　2.2 場發射掃描電鏡主機 1套

　　2.2.1 電子光學系統

　　*2.2.1.1 二次電子像分辨率：≤0.7nm（15kV）且≤0.8nm（1kV）；

　　2.2.1.2 加速電壓： 0.5 ～ 30kV；0.1kV/步；著陸電壓：0.1 ～ 2kV（減速模式）；

　　2.2.1.3 放大倍數：20 ～ 1,000,000 ×；

　　2.2.1.4 電子槍：場發射電子槍，保證5年以上穩定使用，具有意外停電直接啟動功能；

　　2.2.1.5 對中：具有自動對中功能；

　　2.2.1.6 聚焦、消像散：自動聚焦、自動消像散并配有旋鈕板可手動聚焦及消像散調節；

　　2.2.1.7 物鏡光闌：多孔機械可調式，內置加熱自清潔裝置；

　　2.2.2 樣品室

　　2.2.2.1 樣品臺：3軸中心馬達驅動；

　　2.2.2.2 樣品移動：X：0 ～ 50mm；Y：0 ～ 50mm；Z：1.5 ～ 30mm；傾斜角 -5°～ +70°；R = 360°連續旋轉；

　　2.2.2.3 樣品交換預抽室：可保證直徑100mm樣品通過性；

　　2.2.2.4 有樣品防撞警報裝置；

　　2.2.2.5 可放置樣品最大尺寸：直徑≥100mm；

　　2.2.3 檢測器

　　2.2.3.1 低位二次電子探測器：可得到二次電子像；

　　2.2.3.2 高位二次電子探測器：可選擇接收二次電子像或背散射像，并以任意比例混合，在低壓下（小于2kV）可以成背散射電子像；

　　2.2.4 數字圖像記錄系統

　　2.2.4.1 圖像處理軟件：可以進行圖像的處理、測量和編排實驗報告；

　　2.2.4.2 數據記錄：照片包括編號，加速電壓，標尺，放大倍率，日期，時間，工作距離等；

　　2.2.4.3 圖像儲存：640×480，1280×960，2560×1920，5120×3840像素；

　　2.2.5 電鏡控制系統

　　2.2.5.1電鏡控制軟件：具有自動聚焦、自動消像散、自動對比度/亮度調節等功能；

　　2.2.5.2 主機：主流配置，帶有刻錄功能，Windows?10，24英寸顯示器；

　　2.2.6 真空系統

　　2.2.6.1 真空泵：機械泵，渦輪分子泵（磁懸浮型）及二級以上離子泵；

　　2.2.6.2 真空度：電子槍部分≤10-7Pa；樣品室部分≤10-4Pa ；

　　2.2.6.3 保護：自動真空抽氣及診斷系統，具有斷電、缺水、失真空保護系統；

　　2.2.6.4 樣品更換抽真空時間：≤1分鐘。

　　2.2.7 能譜儀

　　2.2.7.1 能量分辨率（MnKa處）：≤127eV；

　　2.2.7.2 檢測元素范圍：Be4 ～ Cf98；

　　*2.2.7.3.有效晶體活區面積：≥65mm² ；

　　2.2.7.4 面分布分析、線掃描、無標樣定量分析數據管理與報告；

　　2.2.7.5 配備高低電壓數據庫低電壓下定量更準確；

　　3. 其他要求

　　3.1 電鏡需適應現有實驗室條件：電鏡必須可適應在獨立地線不小于40歐姆環境下正常工作，無需安裝減震臺與磁屏蔽即可達到現場驗收分辨率指標；

　　3.2 電鏡光學系統所需的耗材（燈絲+光闌等）要求能夠保障正常使用5年以上（如為冷場燈絲，額外提供1套以上；熱場燈絲，額外提供4套以上）；

　　3.3 電鏡配備真空轉移系統，可以實現待測樣品在手套箱內制備完成后，直接轉移至樣品倉內觀察，避免空氣對待測樣品的破壞；

　　3.4 聯合共建實驗室，在售后、維護及保養等多方面提供更多的支持。