Birkinshaw和Langstaff等人研制出由微通道板和陽極陣列組成的聚焦板檢測體系。陽極陣列是基于芯片技術的互補型金屬氧化物半導體器件,由 18 微米寬的鋁檢測帶和相應電路組成,可用來檢測微通道板產生的脈沖電流。與普通微通道板相比,信噪比、靈敏度、分辨率得到一定提高,而計數速率沒有得到改善。
Sinha 和 Wadsworth 等報道了基于電荷耦合器件(CCD)的陣列檢測器,作者將電荷耦合器件中對光子敏感的器件換成金屬氧化物半導體器件,可直接用于離子的檢測,靈敏度較高,可檢測 5 個離子。
Fuerstenau 等將主動象素傳感技術用于離子的檢測,將可用于電荷收集的金屬帶代替互補型金屬氧化物半導體器件中的光電二極管。與電荷耦合器件不同,互補型金屬氧化物半導體器件中的每個象素在電路中都有獨立的放大功能。