光柵單色儀的分辨率R是分開兩條臨近譜線能力的度量，根據羅蘭判據為：
R=λ/Δλ
光柵光譜儀中有實際意義的定義是測量單個譜線的半高寬(FWHM)。實際上，分辨率依賴于光柵的分辨本領、系統的有效焦長、設定的狹縫寬度、系統的光學像差以及其它參數。
R∝ M·F/W
M-光柵線數 F-譜儀焦距 W-狹縫寬度。
光柵光譜儀的色散決定其分開波長的能力。光譜儀的倒線色散可計算得到：沿單色儀的焦平面改變距離χ引起波長λ的變化，即：
Δλ/Δχ=dcosβ/mF
這里d、β、F分別是光柵刻槽的間距、衍射角和系統的有效焦距，m為衍射級次。由方程可見，倒線色散不是常數，它隨波長變化。在所用波長范圍內，變化可能超過2倍。根據國家標準，在本樣本中，用1200l/mm光柵色散的中間值（典型的為435.8nm）時的倒線色散。
帶寬是忽略光學像差、衍射、掃描方法、探測器像素寬度、狹縫高度和照明均勻性等，在給定波長，從光譜儀輸出的波長寬度。它是倒線色散和狹縫寬度的乘積。例如，單色儀狹縫為0.2mm，光柵倒線色散為2.7nm/mm，則帶寬為2.7×0.2=0.54nm。
波長精度是光譜儀確定波長的刻度等級，單位為nm。通常，波長精度隨波長變化。
波長重復性是光譜儀返回原波長的能力。這體現了波長驅動機械和整個儀器的穩定性。卓立漢光的光譜儀的波長驅動和機械穩定性極佳，其重復性超過了波長精度。
波長準確度是光譜儀設定波長與實際波長的差值。每臺單色儀都要在很多波長檢查波長準確度。
F/#定義為光譜儀焦距與準直凹面反射鏡的直徑的比值。光通過效率與F/#的平方成反比，F/#愈小，光通過率愈高。