能譜儀(EDS,Energy Dispersive Spectrometer)是用來對材料微區成分元素種類與含量分析，配合掃描電子顯微鏡與透射電子顯微鏡的使用。
原理
各種元素具有自己的X射線特征波長，特征波長的大小則取決于能級躍遷過程中釋放出的特征能量△E，能譜儀就是利用不同元素X射線光子特征能量不同這一 [1] 特點來進行成分分析的。
性能指標
固體角：決定了信號量的大小，該角度越大越好
檢出角：理論上該角度越大越好
探頭：新型硅漂移探測器（SDD）逐步取代鋰硅Si(Li)探測器
能量分辨力：最高級別的能譜儀分辨力可達121eV
探測元素范圍：Be4～U92